데이터·예측·진단, 한 스택으로

반도체 공정의 속도와 정밀도에 맞춰 설계된 AI 솔루션으로, 결함의 원인을 실시간으로 예측하고 양산 라인의 수율 손실을 발생 전에 차단합니다.

양산 라인과 데이터, 두 엔진이 서로를 학습시킵니다.

PRISM·INFER가 양산 라인의 신호를 실시간으로 받아 예측·진단하고, 검증된 결과는 Virtual Fab의 데이터로 회귀해 다음 사이클을 더 정확하게 만듭니다.

Production
양산 라인
결함 신호와 lot 데이터가 발생하는 실제 환경. 두 엔진이 실시간으로 관찰하고, 검증된 보정이 다음 lot으로 돌아갑니다.
Prediction
PRISM
실시간 오버레이·핫스팟 예측으로 다음 lot의 보정값을 제안합니다.
Diagnosis
INFER
도메인 지식 기반 인과 추론으로 근본 원인 후보를 좁히고, 엔지니어가 단계마다 검증합니다.
Foundation
Virtual Fab
공정·장비·결함 도메인 룰 기반 합성 데이터로, 두 엔진의 학습 분포를 채웁니다.

Production

결함 신호와 lot 데이터가 발생하는 실제 환경. 두 엔진이 실시간으로 관찰하고, 검증된 보정이 다음 lot으로 돌아갑니다.

Prediction

실시간 오버레이·핫스팟 예측으로 다음 lot의 보정값을 제안합니다.

Diagnosis

도메인 지식 기반 인과 추론으로 근본 원인 후보를 좁히고, 엔지니어가 단계마다 검증합니다.

Foundation

공정·장비·결함 도메인 룰 기반 합성 데이터로, 두 엔진의 학습 분포를 채웁니다.

구체적인 데이터가 준비되지 않아도 괜찮습니다. 맞춤 적용 시나리오로 회신드립니다.