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SemiAI

Semi-Brain

차트·공정 컨텍스트·도메인 KB를 한 번에 추론하는 멀티모달 엔진 차트 데이터·이미지·공정 메타데이터·도메인 지식을 함께 받아 1차 해석을 자동 생성하고, 자연어 후속 질의로 분석 흐름을 따라가게 합니다.

주요 기능

  • 01

    멀티모달 1차 해석

    차트 데이터·이미지·spec(USL/LSL)·공정 메타데이터·도메인 KB를 한 번에 모델에 던져 패턴·이상치·원인 후보를 자연어로 정리합니다.

    CD DISTRIBUTIONSEM IMAGESPEC / RECIPEUSL+METADATAtool· LITHO-3lot· N+4layer· M2KNOWLEDGE BASEMULTIMODAL ENGINEcontinuous learningNATURAL-LANGUAGE SUMMARYSUMMARYCD drift detected on M2,localized to LITHO-3PATTERNtail-shift · upper boundOUTLIERw-204 · lot N+4 · USL+ROOT-CAUSE01chuck-temp drift.9201chuck-temp drift.9202recipe rev A→B.6803EFEM particle.41
  • 02

    분석 흐름을 잇는 자연어 질의

    직전에 본 차트·선택한 wafer·기간 설정을 컨텍스트로 유지해, 보여줘 → 좁혀줘 → 확대해줘 같은 follow-up까지 자연스럽게 이어줍니다.

    SESSION CONTEXT · KEPTctxwafer · #w-204period · 7d · N..N+6layer · M2 · CDtool · LITHO-3lot · N+4..N+5liveCD distribution · allfiltered · LITHO-3LITHO-3zoom · lot N+4..N+5USLUSL+show me the CD distributionfor wafer #w-204, last 7 daysCD distribution · allnow narrow it down to justthe LITHO-3 toolfilter · tool LITHO-3zoom into lot N+4–N+5near the USL limitzoom · lot N+4..N+5MEMORY · CONTEXT ACCUMULATES1showquery only2narrowkeeps wafer · period3zoomkeeps wafer · period · tool
  • 03

    엔지니어 검증을 거쳐 의사결정에 반영

    엔지니어는 처음부터 읽는 대신 검증·결정에 시간을 쓰고, LLM 출력은 항상 로그·검증 절차를 거칩니다.

    PIPELINE · LLM OUTPUT → VERIFICATION → APPLIEDLLM output · draft .json{ summary: "CD drift on M2, localized to LITHO-3", candidates: [ [01] chuck-temp drift .92 [02] recipe rev A→B .68 [03] EFEM particle .41 ], recommendation: "schedule LITHO-3 re-cal", citations: [ ↳ KB·case-2074 ↳ KB·case-1981 ]}SIGNEDengineer-approvedverification trail · HITL01 · audit log00:00prompt + ctx00:01retrieve KB-207400:03output · 3 candidates00:04fingerprint 0x3f.a4f102 · engineer · reviewdiagnosis · 4m 12sverifying, not readingroot-cause #01 agreedcitation KB-2074 verifiedaction plan · 1 addition03 · signed · ready to applysigned by · jee.tAPPROVEDdecision appliedrouted to fabACTIONStool · LITHO-3 re-cal scheduledrecipe · M2 offset +0.4 nmalert · ops notified 3 pplCLOSED IN 4m 12s×320 faster

현장의 과제, 함께 정리해 드립니다.

구체적인 데이터가 준비되지 않아도 괜찮습니다. 맞춤 적용 시나리오로 회신드립니다.