Defect Model Simulator
오버레이 보정 모델을 레시피 단위로 학습·관리·시뮬레이션 선택한 wafer 데이터로 모델을 다단계 학습하고, 라이브러리의 레시피를 실 데이터에 적용해 다음 lot에 반영하기 전에 보정 결과를 시뮬레이션합니다.
주요 기능
- 01
물리적으로 의미 있는 다단계 모델 학습
선택한 wafer 측정 데이터로 등록된 모델을 학습해, Inter-field(전역 보정) · Intra-field(샷 내부 보정) · CPE(노광별 잔차) 세 단계의 systematic 성분만 안전하게 분리합니다.
- 02
레시피 기반 보정 시뮬레이션
라이브러리에 등록된 레시피 또는 새로 학습한 모델 레시피를 실 측정 데이터에 적용해, 다음 lot에 반영했을 때의 보정 결과를 양산 전에 시각화합니다.
- 03
레시피 라이브러리 관리
모델 구조와 단계·계수 조합을 레시피로 묶어 라이브러리에 등록·편집·삭제하고, 학습과 시뮬레이션에서 동일한 레시피를 반복 재사용합니다.
현장의 과제, 함께 정리해 드립니다.
구체적인 데이터가 준비되지 않아도 괜찮습니다. 맞춤 적용 시나리오로 회신드립니다.