PRISM
실시간 공정 변동 예측 엔진 공정 핫스팟을 실시간 예측하고 다음 lot의 보정값을 제안합니다. APC가 반응하기 전에 변동을 잡습니다.
주요 기능
- 01
실시간 오버레이·핫스팟 예측
양산 라인 측정값을 실시간 스트림으로 받아 오버레이 변동과 핫스팟을 형성되는 즉시 예측합니다.
- 02
피드포워드 제어
PRISM은 Scanner → 측정 → Etch까지 fab 전반의 신호를 잇고 다음 lot에 보정값을 피드포워드합니다.
- 03
양산 환경 저지연 추론
초 단위 latency로 실시간 의사결정 루프에 그대로 들어갑니다.
성과
- 0.2 nm
- 오버레이 정확도
- 95%
- 예측 정확도
- 1,000×
- 분석 속도
현장의 과제, 함께 정리해 드립니다.
구체적인 데이터가 준비되지 않아도 괜찮습니다. 맞춤 적용 시나리오로 회신드립니다.