Semi-Vision
SEM 측정 정렬 엔진 결함 검사·노이즈 제거·SNR 증폭을 하나의 AI 엔진으로 묶어 처리합니다. make·model이 달라도 SEM 측정값을 한 기준으로 정렬합니다.
주요 기능
- 01
Cross-Tool Measurement Alignment
장비별 고유 시그니처를 학습해 SEM 간 measurement bias를 자동 보정합니다. recipe portability를 확보해, multi-tool·multi-fab 환경에서도 같은 기준으로 계측 결과를 정렬합니다.
- 02
AI Defect Inspection & Classification
AI가 SEM 이미지에서 defect를 검출·분류해 좌표와 함께 리포트로 정리합니다. 반복 수작업 리뷰 부담과 false positive를 줄이고, 엔지니어는 actionable findings에 집중할 수 있습니다.
- 03
Throughput Optimization
더 적은 frame으로도 동등하거나 더 나은 image quality를 복원해 측정 시간을 단축합니다. 검사 throughput을 끌어올리면서 계측 신뢰도까지 함께 확보합니다.
현장의 과제, 함께 정리해 드립니다.
구체적인 데이터가 준비되지 않아도 괜찮습니다. 맞춤 적용 시나리오로 회신드립니다.